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北海道大学 触媒科学研究所 光触媒科学研究部門
大谷 文章 教授
金属酸化物など半導体材料の「同定」と品質管理のための電子トラップ密度解析装置
出展番号M-02
Hokkaido University Professor Bunsho OHTANI
Enery-resolved electron-trap density analyzer for identification and precise quality control of metal-oxide powders: Reversed double-beam photoacoustic spectroscopy
持続可能な開発目標(SDGs)
持続可能な消費と生産のパターンを確保する
共同研究者
室蘭工業大学 大学院工学研究科
高瀬舞 准教授

展示概要

技術概要

これまで不可能だった金属酸化物などの半導体材料の同定を可能にする「電子トラップ密度のエネルギー分布(ERDT)」を測定するために新規に開発された逆二重励起光音響分光法は,ほとんどの金属酸化物や半導体材料がもつ電子トラップについて,粉末や薄膜の形状のまま,試料のERDTを非破壊で見積ることができます.ERDTは粉末のバルクと表面の両方の構造特性を反映したもので,粉末の製造ロットや保管条件のすこしのちがいをも反映する半導体材料の「指紋」です.これをつかって,固体材料を特定する,すなわち同定や,精密な品質管理が可能になります.

想定される活用例

・金属酸化物をはじめとする半導体固体材料の精密品質管理
・他製品との類似性の定量的評価
・機能性との相関の解析

 

展示のみどころ

逆二重励起光音響分光法測定装置の写真パネルと装置の主要部分を実際に見ていただきながら,これまでに測定した各種半導体試料の解析結果をパソコン上でご覧いただけます.

逆二重励起光音響分光法測定の原理 / Reversed Double-beam Photoacoustic Spectroscopy

逆二重励起光音響分光法(RDB-PAS)では,試料の価電子帯から電子トラップに直接光励起し,生じる光吸収を光音響分光法で検出・記録して,電子トラップ密度のエネルギー分布(ERDT)を測定します.

逆二重励起光音響分光法測定装置 / Instrumental Setup of RDB-PAS

光音響セルに装填した試料に波長走査連続光と変調単色光を照射して測定します.

1分間動画
電子トラップ密度エネルギー分布解析を試しませんか / Introduction of Electron-trap Distribution Analysis

電子トラップ密度エネルギー分布解析を試しませんか / Introduction of Electron-trap Distribution Analysis

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