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工学院大学 先進工学部 応用物理学科
尾沼 猛儀 教授
半導体真空紫外線光源による脱水銀社会の実現
出展番号M-15
Kogakuin University Professor Takeyoshi Onuma
Development of semiconductor-based VUV light source for realization of mercury-free society
持続可能な開発目標(SDGs)
すべての人々のための持続的、包摂的かつ持続可能な経済成長、生産的な完全雇用およびディーセント・ワークを推進する
共同研究者
京都大学 工学研究科
藤田 静雄 教授
京都大学 工学研究科
金子 健太郎 講師
展示概要

技術概要

本提案では、岩塩構造をもつ酸化マグネシウム亜鉛(MgZnO)による新しい高輝度固体光源の開発を目指します。我々は、ミスト化学気相エピタキシ法を用いて原子層ステップを有する岩塩構造MgZnO薄膜の結晶成長に成功し、波長163 nmから250 nmの波長域でバンド端発光に成功しています。
また、発光効率の向上に向けて、発光特性の改善に寄与するデータの収集が可能な真空紫外発光測定システムを独自に開発しています。この技術は、2019年度に国際学会において4件の招待講演を行うなど、国内外から注目を集めるホットトピックとなっています。

想定される活用例

・固体真空紫外線を用いたオゾン発生装置
・殺菌用の深紫外線光源
・光化学反応による新材料開発
・半導体素子、ディスプレイパネルなどの製造に利用されるEUVリソグラフィーの光源

 

展示のみどころ

ミスト化学気相エピタキシ法による結晶成長、岩塩構造MgZnO薄膜結晶の評価結果などを紹介します。また、独自に開発した真空紫外発光測定装置を動画で紹介します。
当グループは超ワイドギャップ半導体材料を使った真空紫外線光源の開発を行っています。新たなコンセプトの光源について当グループメンバーと意見交換の出来る場を提供いたします。

1分間動画
半導体真空紫外線光源による脱水銀社会の実現

半導体真空紫外線光源による脱水銀社会の実現

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